PECVD 等微观加工设备研发制造，广州公司向着既定建成投产目标稳步推进 。中微总部整体规划总投资 30 亿元。华南投资约 10 亿元 ，及生板级封装等新兴泛半导体装备赛道。产基并持续拓展智能玻璃 、地期

中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，封顶位于广州增城经济技术开发区的广州公司中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶 ，

中微总部装配功能于一体  。华南测试、及生

近日，产基项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段，地期本次封顶的封顶一期项目占地约 50 亩 ，基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀、广州公司集研发、